応用分野の広いプラズマに関する特許出願件数が増加 ( 記事の出所: 韓国特許庁 ) 2017.07.04

韓国特許庁によると、プラズマに関する特許出願は2012年には15件にすぎなかったが、2016年には165件へと増加し、この5年間(2012年~2016年)急増していることが分かった。

プラズマに関する特許出願を出願人別で見ると、内国人の場合は2013年までは出願がなかったが、2014年の3件から2016年には108件へと大幅に増えており、産業界による出願件数が78%を占めている。

技術分野を具体的に見ると、半導体生産のための半導体の表面工程のような表面処理用プラズマ処理装置が、2012年の4件から2014年には28件、2016年には136件へと急増し、この5年間のプラズマ技術に関する出願件数の72%を占めている。

固体状態の物質がエネルギーを受けると液体に、気体に変化し、気体にさらにエネルギーを加えると、原子核と電子に分けられイオン化状態になる。これをプラズマと呼ぶ。つまり、プラズマは電気的性質を帯びた電子、イオン、中性粒子からなっており、電場と磁場による制御ができるため、さまざまな分野に応用できる。

プラズマを利用した表面処理技術は、気体状態の粒子を基板や物の表面に噴きつけ、絶縁膜又は伝導性の膜など薄膜を形成する技術で、従来の蒸着方式に比べ低温での作業が可能となり、膜の厚さを均一に調整でき、より細密に意図した形にすることができる。従ってプラズマ技術を表面処理に適用すると、大量処理が可能となり、毒性が強い液体化学薬品を使用しないため、公害を引き起こす工程や難工程などが代替できる環境配慮型技術という大きなメリットを持つ。

こうしたメリットを活かし、半導体高密度集積回路など精密な製造工程やディスプレイ、プラズマ表面処理を行ったガラス、プラズマ処理繊維などさまざまな産業工程でプラズマは私たちの生活を変えている。

高温状態のプラズマは核融合発電および溶接などに活用でき、摂氏100度以下の低温状態ではプラズマが周辺の気体をイオン状態に変え、物質の化学的な性質を変えることができるため、表面や空気中に含まれる汚染物質を分解・除去する上で効果的であり、殺菌や傷の治療にも適用可能であるため、今後、環境、食品、バイオ、医療、美容分野など幅広い分野で活用されると見込まれる。

特許庁電力技術審査課の課長は「半導体およびディスプレイ産業でプラズマ技術の活用が増えている」とし「バイオ分野ではプラズマを利用した殺菌と緑藻の除去、環境分野では自動車煤煙低減措置、医学分野では歯のホワイトニングおよびシミの治療など、新たな応用分野でプラズマ技術に対する需要が伸び続けているため、プラズマ技術に関する出願件数は当分、増え続けると予想できる」と述べた。


 
 
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